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发布时间:2020-06-23 21:08:40
洁净室中的温湿度控制
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻***工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。标准传递窗主要用于洁净室与非洁净室之间物品传递,以减少开门的次数,是有效减少洁净室与非洁净室交叉污染较好的净化设备。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产的湿度范围为35—45%。
赛达净化坚持秉承以科技为先导、以市场为导向的科学管理理念,凭借规范化管理及***的技术力量在食品、***、化妆品、微电子等诸多工业领域设计承建了洁净SC厂房、GMP厂房、无菌室、实验室及相关配套产品。我们的宗旨:***!诚信!***!
洁净工程规范设计概算办法,确立设计概算须经过工程标准定额造价管理站和建行等审定,以确定的***限额作为取费基数,这样可去除人为扩大设计规模与冒算的费用。
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传递窗分为标准传递窗和风淋传递窗。标准传递窗主要用于洁净室与非洁净室之间物品传递,以减少开门的次数,是有效减少洁净室与非洁净室交叉污染较好的净化设备。传递窗门均为双门互锁,(即一次只能打开一扇门,打开一扇门之后,另一扇门就不能打开)。四、导电砂浆层:铜网布设完毕,将调好的导电料、石英砂混合均匀后,批刮在铜网层上。 传递窗根据箱体材质不同可分为:不锈钢传递窗、外钢板内不锈钢传递窗等。传递窗还可选配杀菌灯(8W),对讲机等。
特性:
1、固化后的表面硬度高,耐磨损,不起尘;
2、使地面能抵受大的冲击荷载;
3、与基层混泥土整体粘接,不起鼓,不脱落;
4、坚硬密实的表面可以较大限度的抵抗油脂,特种液压油和多种工业用化学***的侵蚀渗透;
5、日常清洁方便简单,节省物料,降低费用。
适用范围:适用于大部分工业厂房、仓库、停车场、货仓式商场等,尤其是有车辆行走的区域。
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